Компанія TSMC опублікувала відео, зняте на території фабрики Fab 21 недалеко від Фінікса, штат Аризона. На кадрах показано цех із сотнями установок, які використовуються для виробництва чіпів для таких компаній як NVIDIA, AMD та Apple.
Fab 21 - це перший завод TSMC у США, який уже запущений у масове виробництво за техпроцесами N4 і N5 (4 і 5 нм).
Спочатку на кремнієві пластини наносять тонкі шари матеріалів - це основа майбутнього чіпа. Потім починається літографія - процес, за якого на пластину "проектують" схему мікросхеми за допомогою світла.
Після цього вступають у гру літографічні установки ASML Twinscan NXE, що використовують екстремальну ультрафіолетову (EUV) літографію. Вона дає змогу формувати мініатюрні елементи схеми з точністю до кількох нанометрів, що особливо важливо для топових чипів на кшталт графічних процесорів NVIDIA Blackwell B300, які використовуються у відеокартах RTX 50.
На відео видно "срібне шосе" - систему автоматизованої доставки пластин (AMHS). Цим підвісним шляхом пересуваються капсули FOUP з 300-міліметровими кремнієвими заготовками. Кожна з них проходить сотні стадій, від травлення, де лазери "вигризають" потрібні візерунки, до осадження, коли на поверхню наносять нові провідні або ізолюючі шари. Такий спосіб транспортування підтримує стабільність процесу і захищає пластини від пилу, адже одна частинка може зіпсувати майбутній чіп.
У EUV-літографії використовується лазерне випромінювання з довжиною хвилі 13.5 нм, створюване плазмою з крапель олова. Після цього пластини проходять через етап допування, де в кристалічну решітку вводяться атоми інших елементів, щоб задати потрібні властивості провідності.
На фінальних стадіях пластини розрізають, тестують і відправляють на пакування, там кожен кристал поміщають у корпус, постачають контактами і готують до інтеграції в пристрої.
Наразі Fab 21 випускає чіпи на техпроцесах N4 і N5, але TSMC вже будує другу фазу заводу, де вироблятимуть кристали за більш просунутими нормами N3 і N2. Генеральний директор компанії Ц. Ц. Вей заявив, що прискорення переходу на 2-нм і більш досконалі технології пов'язане зі зростаючим попитом на ШІ-чіпи.
Раніше ми розповідали, що глава NVIDIA представив графічні чіпи компанії, зроблені в США. Чіпи якраз зробили на заводі TSMC Arizona.
